MEMS变形反射镜主要特性测试

• 作者: 陈家凤 陈海清
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 MEMS变形镜 频闪显微干涉测量系统 特性
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 空间光学
• 页码范围: 3245-3249
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 3270字
• 语种: 中文

摘要

介绍了基于微机电系统技术的微变形反射镜的基本结构和电极分布.分析了微机系统变形镜的变形原理,推导了微变形镜的镜面变形与外加驱动电压的关系.分析了基于计算机控制的频闪显微干涉测量系统的组成及测试原理,并利用该系统实现了对微变形镜静态电压-位移曲线、静态面形、动态离面变形以及谐振频率的测试.实验表明,测试结果与理论分析有很好的一致性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈海清	华中科技大学光电子科学与工程学院	95	682	14.0	18.0
2	陈家凤	中南民族大学电子信息工程学院	18	151	7.0	11.0