硅生长过程中尖形磁场对流场及提拉速率的影响

• 作者: 秦明 邓谷雨 陈启生
• 来源期刊: 力学与实践
• 学科: 工学
• 关键词: 提拉法 单晶硅 流动振荡 提拉速率
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 应用研究
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: O782|TK124
• 语种: 中文

摘要

通过使用基于非正交网格有限体积法的FLUTRAPP(fluid flow and transport phenomena pro-gram)程序模拟了工业8 in单晶硅提拉法生长过程.数值模拟结果表明,流场及提拉速率在单晶硅生长过程中具有振荡特性,提拉速率的振荡周期大约为2 min.尖形磁场的引入能够抑制坩埚中熔体流动的振荡,减小提拉速率的振幅,从而有利于提高所生长单晶的质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈启生	中国科学院力学研究所	6	4	1.0	2.0
2	秦明	中国科学院力学研究所	1	0	0.0	0.0
3	邓谷雨	中国科学院力学研究所	1	0	0.0	0.0