静态膨胀法真空标准校准下限延伸方法研究

• 作者: 徐婕 李得天 赵光平 郭美如
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 静态膨胀法真空标准 校准下限延伸 非蒸散型吸气剂泵 不确定度评定
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 314-317
• 页数: 4页
• 分类号: TB77
• 字数: 3039字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.03.19

摘要

影响静态膨胀法真空标准校准下限的主要因素是器壁放气,本文提出了使用非蒸散型吸气剂泵(NEGP)消除器壁放气影响来延伸校准下限的方法.NEGP对惰性气体无抽速,当以惰性气体作为校准气体时,NEGP既维持了校准室中的超高真空本底,又不改变校准室内惰性气体的气体量,从而保证气体静态膨胀时波义耳定律严格成立,使标准压力能够准确计算.这种方法将静态膨胀法真空标准校准能力的下限延伸到了10-7Pa量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天	兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室	63	622	15.0	20.0
2	郭美如	兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室	28	208	8.0	12.0
3	徐婕	兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室	10	74	6.0	8.0
4	赵光平	兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室	10	47	4.0	6.0