基于高分辨力CCD的大口径光学元件疵病检测

• 作者: 张林 徐旭 程晓锋 蒋晓东 袁晓东 贺群 郑万国
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: ICF 大口径光学元件 疵病 快速检测
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1677-1680
• 页数: 4页
• 分类号: TN244
• 字数: 3150字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种利用高分辨力CCD快速检测大口径光学元件表面和体内疵病的方法.利用侧照明方式对大口径光学元件进行均匀掠射照明,表面和体内疵病因为散射在暗室成像过程中影像被放大.对比研究了疵病示踪尺寸和真实尺寸,得出近似数学关系,利用高分辨力CCD,通过一次性成像获得光学元件疵病尺寸近似值、2维空间位置等定量描述表面特征的信息.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张林	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	233	1406	18.0	25.0
2	程晓锋	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	14	95	6.0	9.0
3	袁晓东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	114	624	13.0	17.0
4	蒋晓东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	47	476	14.0	19.0
5	徐旭	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	9	51	3.0	7.0
6	贺群	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	1	23	1.0	1.0