参数化方法在微机械谐振器设计中的应用

• 作者: 刘恒 程力旻 谢志江
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 双端固定音叉 谐振器 参数模型 谐振频率
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 仪器研制和开发
• 页码范围: 38-42
• 页数: 5页
• 分类号: TN216
• 语种: 中文

摘要

从理论上分析了微机械音叉谐振器的机械力学特性,给出了活动梳齿的工作模态频率解析解,提供谐振器结构设计的依据.利用基于MAST语言实现的MEMS宏模块建立微谐振器系统级通用参数化仿真模型,为验证外围电路提供了基础.事例仿真结果与理论模态分析相一致,验证了模型的有效性.通过减少梁固接端弹性系数、合理安排激励电极能抑制一阶模态扰动.工作模态谐振频率对结构参数的敏感性分析为优化谐振器性能提供基础,使工作模态远离其它高阶模态.敏感性仿真表明在横向振动微谐振器中,工作模态谐振频率随梁长的增加而减小;随梁宽的增加而增大;结构层厚度对横向振动频率没有影响;梳齿部分所有参数的变化造成频率的相反变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢志江	重庆大学机械工程学院	159	1375	19.0	29.0
2	刘恒	重庆大学通信工程学院	15	110	7.0	10.0
3	程力旻	重庆大学机械工程学院	6	38	4.0	6.0