一种小型晶片自动处理设备的研制

• 作者: 郑阳光 陈丁 陈大川 齐峰
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 晶片 PLC 精确传输 滴胶量控制 温度控制
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 控制技术
• 页码范围: 83-85
• 页数: 3页
• 分类号: TP271+.4
• 字数: 2273字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0134.2009.10.025

摘要

为了提高晶片处理实验中涂胶及软烘两操作的实验效率,减少手工操作可能带来对晶片表面的污染.系统采用机械手代替手工完成晶片在各工位之间自动化传输.硬件部分采用PLC作为控制核心部件,由步进电机、接近开关、光电开关、热电阻、电磁阀等组成.详细介绍了软件控制方法,实现晶片精确传输,以及工艺参数的监控等功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑阳光	西安工业大学光电工程学院	5	60	2.0	5.0
2	陈大川	西安工业大学光电工程学院	4	59	2.0	4.0
3	陈丁	西安工业大学光电工程学院	25	21	3.0	4.0
4	齐峰	西安工业大学建筑工程系	15	19	2.0	4.0