基于分形小波变换的MEMS动态模糊图像亚像素检测技术

• 作者: 傅星 胡小唐 胡晓东 陈治
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 动态测试 模糊图像 分形插值 小波变换
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 211-215
• 页数: 5页
• 分类号: TH133.21
• 字数: 2923字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2009.03.005

摘要

基于机器微视觉的微机电系统(MEMS)动态测试系统,提出了一种分形小波变换亚像素检测技术提取MEMs运动轨迹算.法_该算法结合电耦合器件(CCD)成像机理,利用图像的分形参数进行随机分形插值对图像边缘进行重建,通过小波变换实现重建后图像亚像素精度的边缘检测.在连续光照明条件下,时MEMS平面微运动模糊图像进行检测处理,提取和分析了MEMS运动轨迹.将该方法和在频闪条件下测得的MEMS器件的平面微运动幅值的结果进行了比对分析和讨论.由实验结果可以看出,本方法有较高的测量精度,其测量绝对误差小于0.02像素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器陶家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	陈治	天津大学精密测试技术及仪器陶家重点实验室	19	81	6.0	8.0
3	傅星	天津大学精密测试技术及仪器陶家重点实验室	107	753	14.0	20.0
4	胡晓东	天津大学精密测试技术及仪器陶家重点实验室	86	712	15.0	23.0