掺铝氧化锌(AZO)薄膜制备及结合机理探索

• 作者: 侯大寅 汤辉
• 来源期刊: 安徽工程科技学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 AZO薄膜 扫描电镜 能谱仪
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 页码范围: 19-21,29
• 页数: 4页
• 分类号: TN16
• 字数: 2434字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0977.2009.02.006

摘要

利用射频磁控溅射法以ZnO:Al2O3陶瓷靶材为源在丙纶非织造布上制备了AZO薄膜.采用扫描电镜(SEM)分析溅射时间对薄膜微结构的影响.结合能谱分析仪(EDX)对薄膜成分进行分析表征.分析探讨了在丙纶非织造布上溅射沉积纳米薄膜与基材的结合机理.结果表明:随着溅射时间的延长,薄膜的均匀性致密性越来越好;溅射得到的纳米薄膜元素的特征峰明显,纯度高;薄膜与基材之问结合是物理、化学等多种力共同作用的结果.