聚焦离子束扫描显像技术

• 作者: 张彬庭 彭志坚
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: FIB 微细加工 微分析 扫描 显像
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: IC制造设备
• 页码范围: 36-37,45
• 页数: 3页
• 分类号: TN405.98+5
• 字数: 1974字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.07.008

摘要

聚焦离子束(FIB)是一种将微分析和微加工相结合的新技术,广泛应用于芯片电路修改、研磨、沉积和二次电子离子成像.扫描显像技术是FIB的重要功能,主要用于器件精密加工中,校正束与工件的坐标位置,修正像的畸变.还可以在显示器上观察加工工件的表面形貌,使加工更加直观.FIB其它所有的功能和应用都要在扫描离子显微镜所显示的图像下进行,叙述了用于FIB扫描显像的一种新方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张彬庭	中国电子科技集团公司第四十八研究所	4	8	1.0	2.0
2	彭志坚	中国电子科技集团公司第四十八研究所	5	31	2.0	5.0