醋酸对电化学沉积氮化碳薄膜的影响

• 作者: 于卫锋 宁西京 宋云 曹荣根 王建中 田瑀
• 来源期刊: 中国科学E辑
• 关键词: 氮化碳 电化学沉积 CNx薄膜 反应机理
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 1414-1418
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1007/s11431-009-0109-1

摘要

采取电化学沉积方法,在尿素的甲醇溶液中制备CNx薄膜,发现在反应原液中加入适量醋酸(CH3COOH)对成膜过程有重要影响.优化实验条件,于单晶硅表面获得了3～7μm的氮化碳多晶颗粒.X射线衍射谱分析表明,晶粒主要为立方相及少量β相和α相.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王建中		42	173	7.0	11.0
2	宋云		11	21	2.0	4.0
3	宁西京		14	26	3.0	4.0
4	曹荣根		2	1	1.0	1.0
5	田瑀		1	0	0.0	0.0
6	于卫锋		1	0	0.0	0.0