复合型场发射阵列失效性研究

• 作者: 代令 何世东 曹伟 李东方 林祖伦 陈文彬
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 物理学
• 关键词: 场发射阵列 退火 老炼 氢化处理
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 光电子器件及显示技术
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: O462.4
• 字数: 2394字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2009.01.002

摘要

复合型尖锥场发射阵列制备工艺过程中遇到的问题主要有栅极的脱落、阴极的氧化、尖锥微毛刺现象.为了提高器件的整体性能,试验采用了三种工艺改进方法,在真空环境中600℃高温退火;在氢气中进行氢化处理;对器件进行15 h的老炼.改进工艺后开启电压由75 V降到60 V,阳极收集最大电流从150 μA提高到300 μA,充分说明了改进工艺的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林祖伦	中国电子科技大学光电信息学院	4	56	3.0	4.0
2	曹伟	中国电子科技大学光电信息学院	7	5	1.0	2.0
3	李东方	中国电子科技大学光电信息学院	1	4	1.0	1.0
4	陈文彬	中国电子科技大学光电信息学院	1	4	1.0	1.0
5	代令	中国电子科技大学光电信息学院	1	4	1.0	1.0
6	何世东	中国电子科技大学光电信息学院	1	4	1.0	1.0