极紫外啁啾多层膜反射镜的拟合分析

• 作者: 袁艳红 赵华 陈锐
• 来源期刊: 上海电机学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜光学 啁啾多层膜反射镜 单纯形算法 亚飞秒脉冲
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 数理科学
• 页码范围: 65-68
• 页数: 4页
• 分类号: O484.41
• 字数: 1837字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0020.2009.01.016

摘要

设计并制备了极紫外啁啾多层膜反射镜,利用同步辐射反射率测试装置完成了样品反射率的测试,采用单纯形算法拟合了反射率测试曲线,分析了顶层Si的氧化对拟合结果的影响.拟合结果表明,2块样品的Si-on-Mo粗糙度为0.4 nm和0.5 nm,Mo-on-Si粗糙度为0.8 nm和0.9 nm,顶层Si的氧化是影响极紫外啁啾多层膜反射镜反射率的重要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁艳红	上海电机学院应用数理研究所	20	55	4.0	6.0
2	赵华	上海电机学院应用数理研究所	19	19	3.0	3.0
3	陈锐	上海电机学院应用数理研究所	7	5	1.0	2.0