一种高精度低量程隧道陀螺仪的隧道电流效应分析

• 作者: 刘俊 刘晓鹏 张琼 朱政强 石云波
• 来源期刊: 中北大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 陀螺仪 隧道电流检测 隧道电流分析
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 电子与电子信息
• 页码范围: 175-178
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1918字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3193.2009.02.017

摘要

针对微卫星所用高灵敏、低量程陀螺的需求,提出了一种高精度低量程隧道式陀螺仪的新结构,对隧道陀螺的基本组成部件进行了详细的分析,并介绍了其工作原理.设计了隧道陀螺仪的隧道电流测试方案,采用HP4156C高精度半导体参数测试仪对传感器的隧道电流效应进行了测试,并对隧道电流效应进行了理论分析,在此理论分析的基础上对测试数据进行了归纳与分析,得到器件势垒高度的值分别为0.518 eV,0.555 eV.验证结果表明:本结构隧道电流效应明显,器件有较高的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试技术国家重点实验室	181	1162	17.0	24.0
3	石云波	中北大学电子测试技术国家重点实验室	108	610	14.0	20.0
9	刘晓鹏	中北大学电子测试技术国家重点实验室	8	39	4.0	6.0
11	张琼	中北大学电子测试技术国家重点实验室	7	11	2.0	3.0