等离子体轰击致聚酰亚胺表面亲水性研究

• 作者: 吴佩璇 吴臣国 沈杰 王三坡 马进
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体 表面改性 聚酰亚胺 亲水性 剥离强度
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 664-668
• 页数: 5页
• 分类号: O484.2
• 字数: 4217字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.06.14

摘要

等离子体轰击聚酰亚胺表面会提高挠性印制电路板中溅射铜膜与聚酰亚胺基板的附着力,同时聚酰亚胺表面亲水性随之改变.本文通过改变轰击等离子体种类、轰击电流、轰击时间和轰击气压等条件,研究这些工艺参数与聚酰亚胺表面亲水性的相互关系.在等离子体轰击处理后的聚酰亚胺上磁控溅射镀铜并电镀加厚,利用剥离强度测试仪测量铜膜与聚酰亚胺基板的附着力,并分析亲水性与附着力之间的关系.研究发现,等离子体轰击可以增强聚酰亚胺的亲水性及聚酰亚胺基板与铜膜的附着力,且亲水性越好的样品,溅射镀铜后铜膜与基板的附着力也越好,并得到了等离子体轰击参数与亲水性的关系;研究表明可以把测量亲水性作为聚酰亚胺表面等离子体轰击效果的一种评价方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈杰	复旦大学材料科学系	79	645	12.0	22.0
2	马进	复旦大学材料科学系	8	32	4.0	5.0
3	吴臣国	复旦大学材料科学系	3	34	2.0	3.0
4	吴佩璇	复旦大学材料科学系	1	15	1.0	1.0
5	王三坡	复旦大学材料科学系	3	40	3.0	3.0