多晶硅铸锭涂层用高纯Si3 N4微粉的研究进展与展望

• 作者: 刘利华 张联盟 李俊国 袁向东
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 氮化硅 微粉 涂层
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 综合述评
• 页码范围: 548-552,567
• 页数: 6页
• 分类号: TF12
• 字数: 4193字
• 语种: 中文

摘要

本文根据国内外高纯氮化硅微粉制备的研究情况,综述了硅粉直接氮化法、硅亚胺热分解法、气相反应法等几种氮化硅粉末的主要制备方法,介绍了各种制备方法在生产多晶硅铸锭涂层用氮化硅微粉的优缺点,并从产品质量、成本等角度分析比较了各种制备方法的特点,指出了制备多晶硅铸锭用氮化硅粉末的主要发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张联盟	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	249	2664	24.0	41.0
2	袁向东	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	5	48	5.0	5.0
4	李俊国	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	14	50	4.0	6.0
7	刘利华		1	12	1.0	1.0