清洗方法对KDP晶体抛光表面质量的影响

• 作者: 吴东江 康仁科 王奔 高航
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: KDP晶体 清洗方法 表面质量
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 页码范围: 525-528,534
• 页数: 5页
• 分类号: TH161
• 字数: 1542字
• 语种: 中文

摘要

为了提高KDP晶体的表面质量,减少清洗时新损伤的引入,降低清洗过程对抛光后晶体表面质量的影响,本文采用超声波、酒精棉、擦镜纸以及酒精棉与擦镜纸相结合的方法,对抛光后的KDP晶体表面进行了清洗.利用光学显微镜对不同清洗方法得到的表面质量进行检测对比.结果表明,酒精棉与擦镜纸相结合进行清洗为较理想的清洗方法,可以有效防止清洗中存在的表面潮解及新划痕的引入,清洗后的抛光表面粗糙度Ra为2.152 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	康仁科	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	165	2562	24.0	44.0
2	吴东江	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	63	533	14.0	20.0
3	高航	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	69	830	18.0	26.0
4	王奔	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	10	321	10.0	10.0