集成光栅干涉微位移测量方法

• 作者: 伍康 刘力涛 叶雄英 周兆英 陈烽
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 位移测量 干涉法 衍射光栅 微机电系统
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 56-59
• 页数: 4页
• 分类号: TH822
• 字数: 1781字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2009.01.012

摘要

介绍了一种新型集成光栅干涉微位移测量方法,设计加工了微位移敏感芯片,并进行了初步的性能测试.敏感芯片利用硅-玻璃键合体硅工艺制作而成,在玻璃上制有金属光栅,光栅上方有由铝梁支撑的可动结构.实验系统由敏感芯片、半导体激光器、光电二极管以及相应的驱动、检测电路组成.入射激光照射到光栅上产生衍射光斑,衍射光的光强随可动结构与光栅之间的距离变化,通过测量衍射光强的变化可以得到位移.测试实验结果表明,所制作的集成光栅干涉微位移敏感芯片可实现位移检测,最小可检测的位移约0.2 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶雄英	清华大学精密仪器与机械学系	62	1070	15.0	31.0
5	伍康	清华大学精密仪器与机械学系	8	28	3.0	5.0
9	陈烽	清华大学精密仪器与机械学系	5	30	3.0	5.0
13	周兆英		3	20	2.0	3.0
14	刘力涛	清华大学精密仪器与机械学系	2	19	2.0	2.0