浮雕矩形光栅刻槽深度的衍射测量方法

• 作者: 刘荣祁 庄其仁 林宝卿 陈建荣
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: 浮雕矩形光栅 刻槽深度 衍射测量
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 页码范围: 252-255
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 2153字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-372X.2009.03.018

摘要

当激光束投射在浮雕光栅上,透过光栅的衍射光斑就反映了浮雕光栅的表面信息.提出一种浮雕矩形光栅刻槽深度的高精度衍射测量方法.分别采用两个激光波长垂直入射光栅表面,测量透过光栅的0级和1级衍射光强比,实现对光栅刻槽深度的间接测量.此测量方法理论精度优于1nm.给出了对石英浮雕矩形光栅的实验测量结果.该测量方法的突出特点是:所用仪器设备简单,对环境噪声不敏感,测量速度快,特别适用于在线检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄其仁	华侨大学信息科学与工程学院	90	328	10.0	16.0
2	林宝卿	华侨大学信息科学与工程学院	8	11	2.0	3.0
3	陈建荣	华侨大学信息科学与工程学院	3	14	2.0	3.0
4	刘荣祁	华侨大学信息科学与工程学院	4	19	3.0	4.0