宽光谱监控法镀制高精度增透膜的研究

• 作者: 卢维强 张民 李小龙 贾秋平
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 宽光谱监控法 增透膜 评价函数 目标曲线
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 工业研究与应用
• 页码范围: 457-460
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2312字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.04.24

摘要

本文介绍了使用宽光谱监控系统镀制增透膜的基本原理和技术特点.给出了针对不同的膜层特性计算评价函数的方法,分别为能量法和特征点法,能量法适合膜层的光学特性对每一个波长点的权重要求都是一样的,特征点法适合于只对膜层光学特性的某几个特定波长的要求较高,并根据膜料光学参数的特性,分别设置权重因子,其它波长忽略不计.用工艺曲线代替理论设计曲线作为目标曲线,解决实际镀制的光谱特性与理论值存在偏差的问题,使评价函数的极小值趋近于零,达到最佳膜厚.这种简单而准确的方法对于提高宽带增透膜镀制精度和成品率有显著的效果,具有实际的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢维强	北京理工大学信息科学技术学院光电工程系	16	105	6.0	10.0
2	贾秋平		1	6	1.0	1.0
3	张民		1	6	1.0	1.0
4	李小龙		1	6	1.0	1.0