晶体生长参数的检测与优化

• 作者: 宋德杰
• 来源期刊: 山东大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 晶体生长 参数检测 参数优化 组态王6.53
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 154-158
• 页数: 5页
• 分类号: TP391
• 语种: 中文

摘要

为了获得优质的碲锌镉单晶体,采用工控机和组态王6.53开发了一种晶体生长参数的检测优化系统.实现对晶体生长炉内各个温区的温度、籽晶杆的旋转方式及各个时段的旋转速度、布里奇曼垂直下降速度、坩埚位置及温度等参数的实时检测、记录和存储.根据检测数据可对晶体生长质量及生长缺陷做出分析,为改进晶体生长方案、提高晶体生长质量和优化控制参数提供可靠的依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋德杰		12	27	3.0	5.0