SPM微悬臂弹性常数校准技术

• 作者: 孙涛 尹大勇 董申 费维栋 闫永达
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜 微悬臂 弹性常数 校准 动态测量 静态测量
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 174-180,185
• 页数: 8页
• 分类号: TN16|O1343|TH82
• 字数: 5369字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.03.009

摘要

综述了扫描探针显微镜(SPM)的微悬臂梁弹性常数Kn的校准方法,主要包括物理尺寸法、动态测量法和静态测量法.物理尺寸法计算方便,可给出任何方向、任意形状的弹性常数表达式,但测量精度不高,适用于精度要求不高的场合;动态测量方法适用于任意形状悬臂,校准技过程简单快捷,不易损坏悬臂;静态测量法采用外加设备如标准悬臂或者标准加压设备,操作过程麻烦,易损坏悬臂.但动态和静态测量法的精度较高,因此适用于要求提供精确力信号的场合.目前,静态测量法中采用标准弹簧校准的测量精度可达2%～5%,校准过程方便快捷,具有一定的发展潜力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
2	孙涛	哈尔滨工业大学精密工程研究所	124	1024	17.0	23.0
3	闫永达	哈尔滨工业大学精密工程研究所	34	237	9.0	13.0
4	尹大勇		5	19	3.0	4.0
5	费维栋	哈尔滨工业大学精密工程研究所	33	169	8.0	11.0