铝及其氮化物表面干法氧化的研究进展

• 作者: 李娜 杨志锋 殷列 王增林 王旭
• 来源期刊: 电镀与精饰
• 学科: 工学
• 关键词: 表面氧化 化学氧化 等离子氧化 热氧化
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 专论
• 页码范围: 19-23
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174.45
• 字数: 3373字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3849.2009.10.006

摘要

介绍了铝及其氮化物表面干法氧化的研究现状及发展前景.总结了不同氧化方法对铝氧化膜性质的影响,并对采用干法制备铝氧化膜及氮氧化膜技术的发展前景进行了展望,指出采用铝表面的热氧化、多组分等离子氧化制备铝氧化膜或氮氧化膜将成为铝氧化技术新的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李娜		2	8	1.0	2.0
2	杨志锋		1	0	0.0	0.0
3	王旭		1	0	0.0	0.0
4	殷列		1	0	0.0	0.0