基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器设计

• 作者: 刘俊标 李勇滔 殷伯华 薛虹 韩立
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 现场可编程门阵列 电子束曝光 工件台控制器
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 本期专题(光刻与刻蚀)
• 页码范围: 19-24
• 页数: 6页
• 分类号: TP305
• 字数: 4351字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.04.004

摘要

基于激光干涉仪的精密工件台是电子束曝光机的关键设备.为了改进工件台控制器的运算速度.设计了一种基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器.本控制器由上位机接口、激光干涉仪测量系统接口、电机控制接口、手动面板接口和主处理器组成,以美国Xilinx公司Span-tan3系列的FPGA芯片XC3s400为核心,实现控制器与上位机、激光干涉仪测量系统、伺服驱动系统、手动控制面板之间的数据交换和指令传递,完成工件台的精确移动,满足电子束曝光的定位精度和拼接精度的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊标	中国科学院电工研究所	45	181	8.0	11.0
2	殷伯华	中国科学院电工研究所	24	94	6.0	8.0
3	韩立	中国科学院电工研究所	98	376	9.0	13.0
4	薛虹	中国科学院电工研究所	18	30	3.0	4.0
5	李勇滔	中国科学院电工研究所	14	31	3.0	4.0