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摘要:
提出了一种适用于任意多层电介质分层结构中的3D互连电容参数提取的新方法--反射镜像法.该方法无需对格林函数进行推导,而是根据自由电荷反射原理计算反射镜像的位置和镜像电荷系数从而获得各级镜像分布,继而计算任意多层电介质环境下的3D电容,包括底层或顶层介质接地情况下的3D电容.该方法可克服级数形式的格林函数因受限于电介质分层数目而难以适应大规模集成电路中复杂多变电介质环境下的3D电容参数提取问题.通过对导体面元建立层次式数据结构,这一方法可以利用层次式算法(hierarchical method)实现计算加速.实验证明,该方法能在保证可靠精度的情况下达到迅速收敛,与层次式加速算法结合后,计算效率可达到FastCap法的数倍.
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文献信息
篇名 基于镜像法提取多层介质中3D电容参数的研究
来源期刊 高技术通讯 学科 工学
关键词 3D电容提取 镜像法 格林函数 自由电荷方法
年,卷(期) 2009,(1) 所属期刊栏目 先进制造与自动化技术
研究方向 页码范围 66-70
页数 5页 分类号 TM5
字数 3271字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王高峰 武汉大学微电子信息技术研究院 36 209 6.0 13.0
2 丁文 武汉大学微电子信息技术研究院 9 50 4.0 7.0
传播情况
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二级参考文献  (0)
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1978(1)
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研究主题发展历程
节点文献
3D电容提取
镜像法
格林函数
自由电荷方法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
高技术通讯
月刊
1002-0470
11-2770/N
大16开
北京市三里河路54号
82-516
1991
chi
出版文献量(篇)
5099
总下载数(次)
14
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导