半导体材料测试技术的现状

• 作者: 董苏 蔡云凯
• 来源期刊: 中国建设动态：阳光能源
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体材料 测试技术 技术参数 产业化
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 页码范围: 49-50
• 页数: 2页
• 分类号: TN304

摘要

随着我国太阳能、材料、化工领域的发展以及高新技术的产业化，以前只在实验室应用的半导体测试技术和仪器被广泛应用于生产。但是很多半导体材料厂家对测试仪器的认识还停留在测定技术参数上，对于不同测试原理所应用的不同场合还不是很清楚，对于这些原因造成的测试误差和危害还没有足够的认识，因此有必要对相关原理做进一步介绍。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董苏		1	0	0.0	0.0
2	蔡云凯		1	0	0.0	0.0