MEMS加速度计的六位置测试法

• 作者: 宋丽君 秦永元
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 航空航天
• 关键词: MEMS加速度计 六位置测试法 刻度因数 安装误差 线性度
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 11-13,17
• 页数: 4页
• 分类号: V241
• 字数: 2774字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2009.07.004

摘要

主要介绍了MEMS加速度计的六位置测试法,根据MEMS加速度计输出数学模型详细推导了如何得到MEMS加速度计的输出数学模型中的刻度因数、零偏以及安装误差,并在得到其标定系数后将其封装在C函数中进行了验证实验.通过实验数据分析可知,MEMS加速度计的六位置测试法原理简单、易于实现,且精度较高.这种标定法所得到的MEMS加速度计输出能够比较准确地反映其输出,而且MEMS加速度计的线性度有所改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦永元	西北工业大学自动化学院	264	3556	28.0	46.0
2	宋丽君	西北工业大学自动化学院	14	286	7.0	14.0