电弧离子镀制备Cr-O-N涂层及生长机理探讨

• 作者: 孙超 李伟洲 李月巧 梁天权 胡治流
• 来源期刊: 广西大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧离子镀 Cr-O-N涂层 气体流量 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 101-105
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 3066字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-7445.2009.01.025

摘要

为了弄清O2和N2的流量变化和基体负偏压对涂层微观结构的影响,利用电弧离子镀技术制备了Cr-O-N涂层,对涂层样品进行了X射线衍射分析,扫描电镜和原子力显微镜观察,电子探针成分分析,结果表明Cr-O-N涂层含CrN和Cr2O3相,衍射峰的择优取向、涂层的表面粗糙度、相含量和化学成分与制备过程中的气体流量、基体负偏压等因素密切相关:随着氧流量的增加,涂层的表面粗糙度上升,涂层中氧元素含量和Cr2O3相含量增多;基体负偏压的升高有利于涂层沿CrN(220),Cr2O3(300)面择优生长和涂层的致密性提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡治流	广西大学材料科学与工程学院	88	584	12.0	20.0
2	孙超	中国科学院金属研究所表面工程部	126	1708	23.0	34.0
3	李伟洲	广西大学材料科学与工程学院	45	200	6.0	12.0
7	梁天权	广西大学材料科学与工程学院	15	36	4.0	5.0
8	李月巧	广西大学材料科学与工程学院	8	35	4.0	5.0