快速热处理设备温度稳定性研究

• 作者: 江西元
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 温度稳定性 快速热处理设备 热惯性 串级控制
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 制造设备
• 页码范围: 50-52
• 页数: 3页
• 分类号: TG155.1
• 字数: 1235字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.06.013

摘要

以快速热处理设备对温度控制的特殊要求为研究目的,研究温度热惯性对温度稳定性的影响,目的是为解决芯片快速退火和快速合金的稳定性和可靠性,并为设计新快速热处理设备提出串级控制建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江西元	中国电子科技集团公司第十三研究所	3	8	2.0	2.0