静电放电机理、影响及离子发生器在电子设备静电防护上的应用研究

• 作者: 徐涛
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 离子发生设备 静电放电 电子设备 光电子设备
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 新技术应用
• 页码范围: 41-45
• 页数: 5页
• 分类号: O441.1|TN606
• 字数: 2971字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.08.010

摘要

静电放电问题是困扰包括半导体晶圆,液晶面板,太阳能模块的生产和加工等众多电子、光电子行业的顽疾.被动防止静电放电需要在加工材料选择,工艺流程优化,生产环境温湿度控制等众多环节加以严格限制,其过程复杂,管控起来难度较大.主动预防静电放电的最佳方式就是采用在电子、光电子加工设备上安置离子发生器中来和电子、光电子器件上的多余电荷.离子发生器的性能特点,参数设置等对电子、光电子设备的静电放电控制起着至关重要的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐涛		2	2	1.0	1.0