一种新型微机械谐振式压力传感器研究

• 作者: 刘磊 史晓晶 毋正伟 王军波 陈德勇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振式压力传感器 MEMS 电磁激励 差分检测 FEA-ANSYS
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 790-793
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2414字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.06.006

摘要

提出了一种微机械谐振式压力传感器的新结构.该传感器采用了电磁激励和差分检测方式.谐振器的制作采用了30μm厚扩散硅的(100)硅片.从而实现了谐振器与压力膜的一体化,避免了谐振梁与压力膜键合引入的应力,并且工艺简单易于实现.文中介绍了结构的有限元仿真(FEA-ANSYS Simulation)优化,工艺制作流程,及实验测试.在低真空下测试其品质因数(Q)高于10 000,测量范围为0～100 kPa,非线性度为0.62%,分辨率为1/10 000,灵敏度为200 Hz/kPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈德勇	中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室	48	348	11.0	16.0
2	刘磊	中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室	181	1653	22.0	30.0
3	王军波	中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室	41	304	10.0	16.0
4	毋正伟	中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室	7	79	4.0	7.0
5	史晓晶	中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室	2	39	2.0	2.0