静电刚度式谐振微加速度计设计

• 作者: 何晓平 周吴 李柏林 苏伟 陈黎丽
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 静电刚度 谐振微加速度计 灵敏度 固有频率
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 92-94,97
• 页数: 4页
• 分类号: TN16
• 字数: 2771字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2009.06.030

摘要

:加速度计的固有频率为23.94 kHz,灵敏度约为20 Hz/gn,与理论设计值相近.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李柏林	西南交通大学机械工程学院	139	883	15.0	21.0
2	苏伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	92	541	12.0	16.0
3	何晓平	中国工程物理研究院电子工程研究所	29	177	8.0	11.0
4	陈黎丽	西南交通大学机械工程学院	6	65	3.0	6.0
5	周吴	西南交通大学机械工程学院	4	11	3.0	3.0