检测电压对一种新型谐振式微加速度计的影响

• 作者: 何晓平 刘恒 张凤田 张富堂 苏伟
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械电子系统 微加速度计 检测电压 静电刚度
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1261-1265
• 页数: 5页
• 分类号: TN216
• 字数: 2955字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.09.008

摘要

静电作用在在平行板电容器上会产生等效静电负刚度,介绍了基于静电刚度的谐振式微加速度计设计原理,建立了其动力学模型.根据检测电压的约束条件,求解了其可行范围.同时分析了检测电压对系统灵敏度、可靠性和量程及输出电压的影响.分析结果表明:检测电压越大,灵敏度越大,但可靠性和量程会相应减少,反之亦然;直流检测电压的存在使得输出电压不受检测电容并行的寄生电容影响.理论分析结果为谐振式微传感器的系统设计提供了重要依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘恒	重庆大学通信工程学院	15	110	7.0	10.0
5	苏伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	92	541	12.0	16.0
6	何晓平	中国工程物理研究院电子工程研究所	29	177	8.0	11.0
7	张富堂	中国工程物理研究院电子工程研究所	19	117	7.0	9.0
8	张凤田	中国工程物理研究院电子工程研究所	9	35	3.0	5.0