用于靶球测量的激光共焦测头稳定性研究

• 作者: 王婷 裘祖荣 陈本轩
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 共焦测头 非接触测量 微靶靶球 稳定性
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器应用
• 页码范围: 751-754
• 页数: 4页
• 分类号: O532.25
• 字数: 2719字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.05.028

摘要

为了解决微靶靶球在微靶装配体中的位置关系.介绍了一种基于动态主动调焦原理的光学非接触测头,这种测头能够测量具有强反射表面的高精度金属件和光学器件,解决了形貌检测领域的一个难题.微靶靶球是惯性核聚变中的关键部分,它的装配位置关系是否准确直接关系到"点火"的成败.由于微靶靶球的特殊性,利用共焦测头这种非接触测头对靶球中心位置进行检测,测量精度要求小于3 μm.根据共焦测头的原理,得出了被测面高度差和振动部件位移的数学关系式,并分析了音叉振动参数对测量结果的影响.试验结果表明:音叉振动频率波动对时间差的影响为0.14‰;音叉振动幅值波动对时间差的影响为6.8‰;时间差输出值的标准差为0.0044.能够满足测量微靶靶球中心位置的非接触,高精度和稳定性要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王婷	天津大学精密仪器与光电子工程学院	27	483	9.0	21.0
2	裘祖荣	天津大学精密仪器与光电子工程学院	103	985	15.0	27.0
3	陈本轩	天津大学精密仪器与光电子工程学院	1	5	1.0	1.0