MeV He+离子注入氧化锌晶体光波导特性研究

• 作者: 侯东超 刘汉平 刘祥志 卢霏 张瑞锋 明宪兵 王磊
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 导波光学 光波导 折射率分布 离子注入 氧化锌
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 材料
• 页码范围: 453-457
• 页数: 5页
• 分类号: TN252
• 字数: 2999字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20093602.0453

摘要

用能量为2.0 MeV剂量为2×1016 ion/cm2 He+离子室温下注入到z切的氧化锌晶体中形成光波导.退火前后用棱镜耦合法在633 nm激光波长下测量波导的暗模特性,发现在空气中经过适当退火后暗模消失,说明晶格损伤减少,进一步的退火处理有可能使晶格损伤完全恢复.用TRIM ′2003程序模拟了2.0 MeV He+离子注入到氧化锌晶体的过程,得到氧化锌损伤分布与穿透深度的关系曲线,并利用反射计算法重构了离子注入波导的折射率分布, 发现在波导区折射率增加,在离子射程的末端有一个折射率降低的光学位垒,结果还显示折射率分布曲线与损伤分布曲线非常相似,这充分说明核碰撞所造成的晶格损伤是形成光波导的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢霏	山东大学信息科学与工程学院	5	13	2.0	3.0
2	明宪兵	山东大学信息科学与工程学院	2	8	1.0	2.0
3	王磊	山东大学物理学院	268	1703	20.0	30.0
4	刘汉平	山东大学信息科学与工程学院	10	121	7.0	10.0
5	刘祥志	山东大学信息科学与工程学院	3	11	2.0	3.0
6	侯东超	山东大学物理学院	1	7	1.0	1.0
7	张瑞锋	山东大学信息科学与工程学院	2	9	2.0	2.0