光磁混合存储动态测试系统中的聚焦伺服模块研究

• 作者: 徐文东 朱青 陈璐
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光数据存储 光磁混合存储 聚焦伺服模块 逆系统 非线性滞回
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 非线性光学
• 页码范围: 1341-1346
• 页数: 6页
• 分类号: O435
• 字数: 4407字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS20092905.1341

摘要

介绍了光磁混合存储动态测试系统中聚焦伺服模块的设计和实现.伺服模块采用了双光束的方案,用独立的红光抽运(LD)作为伺服光源,构成独立的动态聚焦伺服单元,使伺服单元具有模块化、可移植的特点.它不仅适用于混合存储动态测试系统,还可用于卧式或立式、静态或动态的远场激光记录系统中.本文研究了聚焦模块中执行器压电陶瓷(PZT)的幅相频特性和非线性滞回效应,在控制算法方面,使用了PI算法闭环控制结合逆系统和逆非线性滞回模型进行校正,实现了高精度的动态聚焦伺服,在盘片转速为8 r/s时聚焦偏差在±130 nm内.利用该测试系统对有机材料作了动态记录测试,记录点大小和深度均匀一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐文东	中国科学院上海光学精密机械研究所	38	490	11.0	22.0
2	朱青	中国科学院上海光学精密机械研究所	17	161	7.0	12.0
3	陈璐	中国科学院上海光学精密机械研究所	8	30	4.0	5.0