气压对MEMS梳状线振动陀螺仪影响的研究

• 作者: 孙枫 朱强 李峰 郝燕玲 郭秋芬
• 来源期刊: 宇航学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS梳状线振动陀螺仪 阻尼系数 气压 黏性系数
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 制导、导航与控制
• 页码范围: 1024-1029
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 4182字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3873/j.issn.1000-1328.2009.03.033

摘要

MEMS梳状线振动陀螺仪阻尼包括结构阻尼和流体(空气)阻尼,而对于此种结构而言,空气黏性阻尼比结构阻尼大的多.由于气压的变化会引起空气黏性系数的变化,因而会引起MEMS梳状线振动陀螺仪谐振频率、阻尼系数、零偏等参数的变化.因此,研究气压变化对MEMS梳状线振动陀螺仪的影响是非常必要的.根据MEMS梳状线振动陀螺仪的结构特点,建立了压膜阻尼和库埃特流阻尼模型及气压与阻尼的关系模型,研究了气压对两种阻尼的影响以及对MEMS梳状线振动陀螺仪输出电压的影响.通过研究分析可知,气压在小于一个大气压时对压膜阻尼系数的影响很大,进而对MEMS梳状线振动陀螺仪输出的幅值影响也较大.气压在接近或者大于一个大气压时,MEMS梳状线振动陀螺仪随着气压的变化不大,因此将此种陀螺仪的气压控制在一个大气压.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝燕玲		229	2254	23.0	34.0
2	孙枫		141	2129	26.0	37.0
3	郭秋芬		10	35	4.0	5.0
7	李峰		4	4	1.0	1.0
8	朱强		1	1	1.0	1.0