基于条纹反射的非球面镜三维面形测量

• 作者: 刘元坤 唐燕 苏显渝 荆海龙
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 三维面形测量 条纹反射 非球面镜
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 965-969
• 页数: 5页
• 分类号: TM930.12+6
• 字数: 2358字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS20092904.0965

摘要

提出一种利用条纹反射原理测量非球面镜的新方法.测量过程中,利用液晶屏显示正弦条纹,由摄像机记录由待测镜面反射产生的条纹图.并将显示屏和摄像机分别沿待测镜面轴向移动.摄像机在每个移动位置上,记录下显示屏移动前后产生的两幅条纹图.通过相移方法,得到条纹图的相位信息后,对摄像机上每个象素点,能在待测镜面卜找到一个对应待测点,并在获得该待测点的梯度信息的同时,获得该点位置坐标信息.最后通过积分,恢复待测镜面的三维高度信息.该方法不需辅助反射镜与干涉仪,能更加方便灵活地测量非球面镜.并且该方法有较好的抗噪性能,在噪声较大的情况下,仍能对非球面镜进行测量.模拟及初步实验均验证了该方法的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏显渝	四川大学光电子科学技术系	258	3656	33.0	46.0
2	唐燕	四川大学光电子科学技术系	13	99	5.0	9.0
3	荆海龙	四川大学光电子科学技术系	8	153	6.0	8.0
4	刘元坤	四川大学光电子科学技术系	33	355	11.0	18.0