新型宽温区压力传感器技术

• 作者: 段磊
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 宽温区 压力传感器 蓝宝石上硅技术
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 17-18
• 页数: 2页
• 分类号: TP212
• 字数: 2093字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2009.12.006

摘要

为研制新型耐高温和耐低温压力传感器,提出了一种基于SOS(蓝宝石上硅)技术制造的压力传感器.所述硅-蓝宝石压力传感器采用先封装再刻制应变电阻的新工艺,制成的应变电阻和补偿用热电阻精度高、质量好,且在整个工艺流程中不使用化学药品,对环境无污染.制成的硅-蓝宝石压力传感器,可以测量在-55～+400 ℃宽温区范围内的流体压力,并可以同时测量温度.给出了该传感器的试验数据,得到了比较满意的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段磊	上海交通大学船舶海洋与建筑工程学院	5	24	3.0	4.0