ZnO纳米半导体材料制备

• 作者: 孙伟 王红艳 郝男
• 来源期刊: 企业技术开发（下半月）
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO 模板制备法 PVD PLD 金属有机化合物气相沉积
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 高新论坛
• 页码范围: 90-91
• 页数: 2页
• 分类号: TN304
• 字数: 1771字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8937.2009.07.050

摘要

文章阐述了一些制备ZnO纳米半导体材料的常用技术,如模板制备法、物理气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、金属有机化合物气相沉积,并分析了各种方法的优缺点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙伟		11	16	3.0	3.0
2	郝男		2	1	1.0	1.0
3	王红艳		8	17	1.0	4.0