非制冷微悬臂梁式红外焦平面探测器读出电路设计

• 作者: 张雅聪 曹君敏 赵宝瑛 陈中建 雷科 鲁文高
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非制冷 红外焦平面阵列 微悬臂梁 读出电路
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 97-101
• 页数: 5页
• 分类号: TN216
• 字数: 3350字
• 语种: 中文

摘要

针对非制冷微悬臂梁电容式红外探测器,设计了一款焦平面读出电路.根据电路噪声建模与分析,对电路进行了优化设计以抑制噪声.采用0.35μm 的CMOS工艺设计,制造了16×16读出电路原型.测试结果表明,5V电源电压、50Hz帧频下电路总功耗为16.5mW,典型工作模式下线性度为99.2%,通道一致性大于97%,等效输入噪声电荷小于150e.