微悬臂梁非致冷红外探测器的研制

• 作者: 刘海涛 梁平治 陈永平
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非致冷红外探测器 微悬臂梁 电容 微电子机械系统
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 46-49
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 2376字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2006.01.012

摘要

介绍了一种基于标准硅工艺的微悬臂梁非致冷红外探测器的设计和制作.由于氮化硅和铝的热膨胀系数相差很大,用这两种材料的薄膜做成的双材料微悬臂梁在红外辐射下温度升高并发生弯曲,微悬臂梁和衬底形成一个可变电容,通过检测电容的变化来反映微悬臂梁的弯曲,从而可以探测红外辐射的情况.利用外部测试设备对单元探测器进行测试表明,该微悬臂梁对红外辐射有很高的响应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁平治	中国科学院上海技术物理研究所	28	252	9.0	15.0
2	刘海涛	中国科学院上海技术物理研究所	121	805	17.0	22.0
6	陈永平	中国科学院上海技术物理研究所	25	98	6.0	8.0