碳纳米管压阻微悬臂梁红外热探测器

• 作者: 刘君华 刘诗斌 朱长纯 梁晋涛
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 红外探测器 微悬臂梁 微机械技术 碳纳米管
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 682-688
• 页数: 7页
• 分类号: TN215
• 字数: 3145字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.04.019

摘要

研究了一种压阻复合层微机械悬臂梁红外探测器,建立了其热挠曲理论模型.为提高探测器的红外吸收特性,应用了一种新型红外吸收层材料一碳纳米管,利用IC工艺和微机械加工技术设计制作了一种硅/铝/碳纳米管三层微机械悬臂梁红外探测器.该探测器基于硅和铝两种材料热膨胀系数的差异,存在双物质效应,不同温度下梁的挠度不同,其形变可通过梁根部的压敏电桥检测.实验探索出了在微机械悬臂梁上涂覆碳纳米管吸热层的工艺方法.实验研究了具有碳纳米管薄膜吸热层的三层微机械悬臂梁红外热探测器对红外辐射的响应规律,结果表明,涂覆碳纳米管吸热层使响应灵敏度提高近1倍.此种探测器样管的制作研究为开发新型的红外热探测器提供了新的可能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘君华	西安交通大学电气学院	224	3216	28.0	45.0
2	朱长纯	西安交通大学电气学院	215	2372	22.0	41.0
3	刘诗斌	西北工业大学电子信息学院	84	743	15.0	22.0
4	梁晋涛	西北工业大学电子信息学院	2	11	2.0	2.0