用于高功率激光装置的压电步进驱动器

• 作者: 张涛 朱健强 杨朋千 王勇 王斌
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 层叠式压电陶瓷 柔性铰链 压电步进驱动器 高功率激光装置
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 2087-2091
• 分类号: TH703|TN384
• 字数: 2964字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20102209.2087

摘要

根据神光Ⅱ高功率激光装置的具体工程需求,设计了一种以层叠式压电陶瓷为驱动元件的新型压电步进驱动器.驱动器利用杠杆机构实现箝位机构和进给机构交替箝位动子,通过对压电陶瓷小步距的位移连续累加的步进方式,实现大行程直线位移;具有控制简单、行程大、分辨力高及断电箝位的特点.样机试验结果表明,驱动器的运动分辨力达到nm级,步距分辨力达到50 nm,行程21 mm.