大行程纳米二维工作台的动态优化设计

• 作者: 余卿 余晓芬 程伶俐 胡佳文
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 动态优化设计 圆筒型永磁直线同步电机 纳米工作台
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 289-293
• 页数: 5页
• 分类号: TH703.65
• 字数: 1799字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1187.2010.00289

摘要

为了减小直线电机的电磁推力波动, 保证绕线动子与永磁定子有足够的偏心量, 对大行程纳米二维位移工作台进行了动态优化设计研究.基于振动理论建立了工作台与上层板系统的动力学模型, 并以此模型分析了工作台动力响应与上层板厚的关系, 给出了优化设计结果.对工作台进行了全行程定位实验, 实验结果表明, 工作台可以在0~100mm范围内,实现10nm定位分辨率的快速、高精度定位,满足纳米测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余卿	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	9	57	4.0	7.0
2	余晓芬	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	97	756	14.0	22.0
3	程伶俐	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	9	38	3.0	6.0
4	胡佳文	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	4	40	3.0	4.0