适用于微传感器的纳米多孔铝膜的制备研究

• 作者: 徐爱国 董瑾 郑丹 郭强
• 来源期刊: 上海应用技术学院学报（自然科学版）
• 学科: 化学
• 关键词: 纳米氧化多孔铝膜 阳极氧化 平均孔径 孔均匀性
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 251-254
• 分类号: O646.6
• 字数: 2154字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7333.2010.04.002

摘要

在单晶硅表面溅射铝,采用两步阳极氧化法制备纳米多孔铝膜.研究了电解液种类、阳极氧化时间、扩孔时间对孔的结构与形貌的影响.结果表明,与硫酸和磷酸相比,草酸是制备纳米孔阵列的相对方便与可靠的电解液;第二步阳极氧化时间对孔的均匀性及孔深度影响较大,对平均孔径的影响较小;扩孔时间的长短对孔径大小及孔的均匀性均影响显著.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭强	上海应用技术学院化学与环境工程学院	7	7	2.0	2.0
2	董瑾	上海应用技术学院化学与环境工程学院	11	11	2.0	2.0
3	郑丹	上海应用技术学院化学与环境工程学院	23	36	4.0	5.0
4	徐爱国	上海应用技术学院化学与环境工程学院	1	1	1.0	1.0