复杂非球面镜高效超精密车削加工法

• 作者: 张效栋 房丰洲 程颖 魏桂爽
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面 超精密加工 车削 非球面阵列
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 346-351
• 分类号: TH741.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2010.04.012

摘要

本文中对复杂面形的非球面镜进行了分类,并从加工方法和加工路径优化设计等方面研究了复杂非球面镜的超精密车削方法.对回转对称的复杂非球面镜进行了加工实验,并借助超精密测量技术对各段曲面进行面形测量,依据测量结果实现面形补偿加工.最终粗糙度Ra达5.14 nm,形状精度P-V值达200 nm.采用提出的方法对非回转对称的非球面阵列进行加工路径设计,根据具体面形进行加工参数选择和实际加工,得到粗糙度R.为7.81nm的表面.实验结果证明了提出的加工方法高效实用,可以满足大部分复杂非球面的应用需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张效栋	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	29	254	8.0	15.0
2	房丰洲	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	60	448	12.0	18.0
3	程颖	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	4	64	3.0	4.0
4	魏桂爽	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	29	2.0	3.0