凸台式PIN二极管失效分析和键合工艺改进

• 作者: 李少平 肖诗满
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: PIN二极管 失效分析 键合
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 页码范围: 5-7,11
• 分类号: TN305.94
• 字数: 2131字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2010.12.002

摘要

PIN二极管在封装、试验过程中分别出现大量的失效,分析发现,这种PIN二极管考虑到频率和寄生电容的要求,采用一种"凸台"式结构,即结区和阳极在一个突出的凸台上,凸台直径仅有28 μ m.这种凸台边缘只要受到一个较小的机械应力的作用,就会造成凸台崩损、结被破坏,导致结漏电或在小电压下击穿.因此凸台对键合时产生的机械应力很敏感,普通的芯片键合技术也会对凸台造成机械损伤,严重影响器件良品率和长期可靠性.通过对劈刀的改进和重新选择键合丝以及精心调试的键合参数,有效防止了键合对二极管造成的损伤,提高了二极管的成品率和可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖诗满		10	43	4.0	6.0
2	李少平		5	16	2.0	4.0