电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化

• 作者: 周齐领 张晓辉
• 来源期刊: 化工设计
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 精馏工艺 优化
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 设计技术
• 页码范围: 11-13,27
• 分类号: TQ0
• 字数: 3945字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-6247.2010.03.002

摘要

比较目前多晶硅生产中氯硅烷精馏的国内传统工艺和引进国外工艺;通过研究和借鉴,结合专家意见并进行模拟计算,设计和优化氯硅烷精馏工艺;简化流程,降低能耗,减少精制三氯氢硅中的杂质,从而提高多晶硅产品的品质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周齐领		4	28	3.0	4.0
2	张晓辉		1	19	1.0	1.0