真空紫外波段光栅二级衍射效率测量装置

• 作者: 曲艺
• 来源期刊: 中国光学与应用光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 光栅效率 二级衍射效率 真空紫外
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 566-571
• 分类号: O436.1
• 字数: 2051字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2010.06.005

摘要

利用光栅二级衍射会影响反射样品光谱反射率结果的原理,通过计算不同光谱反射率获得了光栅二级衍射效率.介绍了测量二级衍射效率的实验装置,该装置采用双光路单色仪结构,使用已知光谱辐亮度氘灯作为光源,探测器为光电倍增管,通过水杨酸钠膜将紫外光转为可见光.以波长161 nm为例,测量了5块反射镜样片,计算得到光栅二级衍射效率为0.006 11×(1±0.077 7).分析表明,该方法采用的测试装置简单,系统不确定度为14.08%,可以实现真空紫外波段光栅二级光谱衍射效率的连续测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曲艺	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	32	256	10.0	15.0