基于光学干涉技术的MEMS薄膜泊松比在线测量方法研究

• 作者: 戎华 赵彩峰
• 来源期刊: 南京师范大学学报(工程技术版)
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS薄膜 泊松比 在线测量 直角悬臂梁
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 光电工程
• 页码范围: 89-92
• 页数: 4页
• 分类号: TN401
• 字数: 2135字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-1292.2010.01.020

摘要

提出了一种基于光学干涉技术的MEMS薄膜泊松比在线测量方法.该方法采用直角悬臂梁作为测试结构,在上下两电极之间加上电压后,在静电力的作用下,与锚区相连的第一段直梁将发生弯曲变形和扭转变形.先由米劳干涉仪测得悬臂梁的变形,然后分离出形变中的弯曲分量和扭转分量,进而计算出薄膜材料的泊松比.用CoventorWare软件验证.结果显示该方法精度很高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵彩峰	南京师范大学江苏省光电技术重点实验室	1	2	1.0	1.0
2	戎华	南京师范大学江苏省光电技术重点实验室	15	73	5.0	8.0